25MW太阳能电池工艺流程清单
序号	工序流程	所用设备	设备性能	所用设备数量	总价（万元）
	建议					进口设备特点	参考价	国产设备特点	参考价					1	制绒	制绒台	自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高，也并不太适用	300万	全自动：对硅片外型尺寸要求高 国内部分厂家采用
手动：对硅片外型尺寸要求不高，价格便宜，但人为因素对产品质量有影响	130万
60万	1套	130	国产自动
		2	扩散（掺杂）	扩散炉	无需进口	600万	设备性能稳定，已完全取代进口。	100万	三台	300	国产
		3	刻蚀（去周边杂质）	刻蚀机	无需进口	80万	设备性能稳定比国外设备好，已完全取代进口。	20万	四台	80	国产		4	酸洗（去磷硅玻璃）	酸洗台	自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高，也并不太适用		全自动：对硅片外型尺寸要求高 国内部分厂家采用
2．手动：对硅片外型尺寸要求不高，价格便宜。	60万
15万	一套	60	国产自动
		5	镀膜	手动喷镀台或APCVD或PECVD	APCVD镀膜， 	500万
1400万	APCVD镀膜国内没工业化生产设备。
手动喷膜：自动化程低，有色差（人为因素干扰），但价格便宜	
15万	一台	500	进口APCVD或PECVD 		6	印背场	网印机	全自动：自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高，印刷稳定
半自动：人工装卸片，印刷稳定	120万
40万	全自动国内没有
半自动：人工装卸片，能满足要求	
18万	二套	240	进口		7	烘干	烘干炉	设备简单无需进口	50万	设备性能稳定比国外设备好，已完全取代进口。	12万	二台	24	国产		8	印背电极	网印机	全自动：自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高，印刷稳定
半自动：人工装卸片，印刷稳定	120万
40万	全自动国内没有
半自动：人工装卸片，能满足要求	
18万	
二套	
240	进口		9	烘干	烘干炉	设备简单无需进口	50万	设备性能稳定比国外设备好，已完全取代进口。	12万	二台	24	国产		10	印栅极	网印机	全自动：自动化程度高，但对硅片外型尺寸要求高，印刷稳定
半自动：人工装卸片，印刷稳定	120万
40万	全自动国内没有
半自动：人工装卸片，能满足要求	
18万	二套	240	进口		11	烧结	烧结炉	自动化程度高，性能稳定	200万
 	设备性能接近国外设备，已有部分厂家使用，较果也好，价格便宜。	45万	二套	90	国产一套，进口一套		12	分检	测试台	全自动：全自动：自动化程度高，性能稳定，但对硅片外型尺寸要求高
手动：性能稳定	200万
30	全自动：国内没有
手动：性能不太稳定，但价格便宜。	
18万	一套	350	进口		                                                                                          

25MW太阳能电池工艺流程及国内外设备对照清单.doc